水素は、発電・運輸・産業等の幅広い分野で活用が期待され、カーボンニュートラルのキーテクノロジーとして位置づけられ水素濃度の高精度測定が必要になりました。
水素分析計単体での運用やFTIR分析計と並列運転可能な水素・ヘリウム分析計と四重極質量分析計の2機種を用意しています。
水素分析計単体での運用やFTIR分析計と並列運転可能な水素・ヘリウム分析計と四重極質量分析計の2機種を用意しています。
- 水素・ヘリウム分析計
HSense は、磁場偏向型質量分析計（SF-MS）を基盤とし、水素およびヘリウムの迅速、かつ高精度な測定を目的に最適化された水素・ヘリウム用のプロセス質量分析計です。
電子衝突によってイオン化された水素イオン、ヘリウムイオンは、磁場中を一定のエネルギーで加速、収束、さらに分離され、1秒未満の応答時間で検出されます。
本体内に標準で搭載されたガスコンディショニングユニットにより、サンプルガス中の水分濃度の変化に影響を受けません。
専用のスタンドアローンとして、また姉妹機の AirSense（IMR-MS）との連携による測定対象ガスの拡張など、柔軟なシステム構成に対応します。
仕様
| テクノロジー | 磁場偏向型質量分析計（SF-MS） |
| 質量範囲 | 2 – 4 amu |
| 校正ガス ：スパンガス ：ゼロガス |
定量範囲濃度の水素（窒素バランス）を [Cal1]から導入（圧力100kPa） 窒素ガスを[Inert]から導入（圧力100kP） |
| 装置起動時の待機時間 | 装置の真空を開始し、オペレーションに入るまで最低10分間要します。 測定開始までスタンバイモードで12時間以上の安定化を推奨します。 |
| 通信 | Ethernet （100BASE-TX） RS-232 |
| 分解能 | < 1 amu |
| 分析時間 | >= 1 msec/amu |
| 寸測定範囲 | 0-10000 ppm, 0-50000 ppm, 0-100 vol% |
| 応答時間 | T90 > 1 sec |
| 低濃度検出限界 | > 1ppm （H2） > 20ppb（He） |
| ドリフト濃度 | > ± 3% （24 h） |
| 再現性 | > ± 3% |
| 精度 | > ± 2% |
| 周囲温度範囲 | 10℃ - 35℃ |
| 周囲温度変化 | ±2.5℃ 以内 |
| 周囲湿度 | 周囲湿度 最大 80%（結露なきこと） |
| ガス消費 | 最大 150 L/h （2.5L/min） |
| ガスインレット温度 | 最大 190℃ |
| ガスインレット圧力 | -70～200kPa |
| 電源 | 単相 AC200V 600W |
| 寸法（本体） | 534（W）X743（H）X639（D）（凸部含まず） |
| 重量 | 65kg |